在半導體制造領域,晶圓的加工質量直接決定了電子產品性能與可靠性。隨著科技日新月異和市場對高性能電子產品需求的不斷升級,晶圓磨床作為半導體生產設備之一,其工件軸的性能成為提升晶圓加工精度與生產效率的關鍵。然而,傳統(tǒng)加工設備在高精度、高效率和高穩(wěn)定性面前顯得力不從心,尤其是在復雜多軸聯(lián)動和高速加工場景下,對電機的性能提出了更高要求。
在現(xiàn)代半導體制造業(yè)中,晶圓磨床工件軸不僅需要具備高精度和高剛性,還要能夠實現(xiàn)低速度波動和快速響應,以適應復雜多變的加工需求。傳統(tǒng)伺服電機方案雖然在一定程度上滿足了基礎需求,但在速度波動控制、安裝空間優(yōu)化和響應性方面存在明顯局限。特別是在多軸聯(lián)動的精密加工中,傳統(tǒng)電機的性能瓶頸開始顯現(xiàn),難以滿足現(xiàn)代晶圓磨床對高精度加工的嚴苛要求。因此,尋找一種能夠大幅提升晶圓磨床加工性能的創(chuàng)新電機方案,成為了行業(yè)內的迫切需求。
為了應對這些挑戰(zhàn),設備制作商采用了科爾摩根KBM系列無框直驅電機,對晶圓磨床的工件軸進行了優(yōu)化。KBM無框直驅電機以其卓越的技術優(yōu)勢,為晶圓磨床工件軸的性能提升提供了革新性的解決方案。KBM電機采用無框直驅設計,結合先進的電磁技術和斜齒轉子設計,實現(xiàn)了工件軸端跳徑跳的精密控制,將這一指標控制在了300nm以內,遠超傳統(tǒng)伺服電機的性能。這種高精度的控制能力,確保了晶圓磨削過程中的微米級精度,為半導體產品的高性能打下了堅實基礎。
● 平穩(wěn)運行
斜齒轉子設計極大提高了電機運行時的速度平穩(wěn)性,減少了速度波動,確保了加工過程的穩(wěn)定性。
● 快速定位
配合高性能驅動器,KBM電機實現(xiàn)工件軸的快速精準定位,大幅提高了生產效率和加工速度。
● 緊湊設計
KBM電機體積小,轉矩密度高,為緊湊結構中的安裝提供了更大的靈活性,節(jié)省了寶貴的安裝空間。
● 高剛性與響應性
KBM電機的高剛性和高響應性確保了設備在多軸聯(lián)動加工中的平穩(wěn)運行和快速定位,適應了復雜多變的加工需求。
● 低維護成本
KBM電機的高可靠性和長壽命降低了維護成本,減少了停機時間,提高了設備的運行效率和生產連續(xù)性。
采用科爾摩根KBM電機的晶圓磨床,讓客戶體驗到了全方位的提升。不僅晶圓加工的精度和一致性達到了新的水平,控制精度提升至3rad s,重復定位精度達到1.5rad s,極大的提高了生產質量,并減少了后續(xù)調整的需要,有效節(jié)約了成本。生產效率的顯著提升更是縮短了產品從研發(fā)到市場的周期,增強了企業(yè)的市場響應速度和競爭力。最重要的是,KBM電機的低維護需求和長期穩(wěn)定性,確保了生產流程的連續(xù)性,減少了因設備維護導致的生產中斷,為企業(yè)創(chuàng)造了持續(xù)穩(wěn)定的生產環(huán)境,帶來了顯著的經濟效益和長期的競爭優(yōu)勢。