在半導體制造領域，晶圓的加工質量直接決定了電子產品性能與可靠性。隨著科技日新月異和市場對高性能電子產品需求的不斷升級，晶圓磨床作為半導體生產設備之一，其工件軸的性能成為提升晶圓加工精度與生產效率的關鍵。然而，傳統(tǒng)加工設備在高精度、高效率和高穩(wěn)定性面前顯得力不從心，尤其是在復雜多軸聯(lián)動和高速加工場景下，對電機的性能提出了更高要求。
在現(xiàn)代半導體制造業(yè)中，晶圓磨床工件軸不僅需要具備高精度和高剛性，還要能夠實現(xiàn)低速度波動和快速響應，以適應復雜多變的加工需求。傳統(tǒng)伺服電機方案雖然在一定程度上滿足了基礎需求，但在速度波動控制、安裝空間優(yōu)化和響應性方面存在明顯局限。特別是在多軸聯(lián)動的精密加工中，傳統(tǒng)電機的性能瓶頸開始顯現(xiàn)，難以滿足現(xiàn)代晶圓磨床對高精度加工的嚴苛要求。因此，尋找一種能夠大幅提升晶圓磨床加工性能的創(chuàng)新電機方案，成為了行業(yè)內的迫切需求。
為了應對這些挑戰(zhàn)，設備制作商采用了科爾摩根KBM系列無框直驅電機，對晶圓磨床的工件軸進行了優(yōu)化。KBM無框直驅電機以其卓越的技術優(yōu)勢，為晶圓磨床工件軸的性能提升提供了革新性的解決方案。KBM電機采用無框直驅設計，結合先進的電磁技術和斜齒轉子設計，實現(xiàn)了工件軸端跳徑跳的精密控制，將這一指標控制在了300nm以內，遠超傳統(tǒng)伺服電機的性能。這種高精度的控制能力，確保了晶圓磨削過程中的微米級精度，為半導體產品的高性能打下了堅實基礎。
● 平穩(wěn)運行
斜齒轉子設計極大提高了電機運行時的速度平穩(wěn)性，減少了速度波動，確保了加工過程的穩(wěn)定性。
● 快速定位
配合高性能驅動器，KBM電機實現(xiàn)工件軸的快速精準定位，大幅提高了生產效率和加工速度。
● 緊湊設計
KBM電機體積小，轉矩密度高，為緊湊結構中的安裝提供了更大的靈活性，節(jié)省了寶貴的安裝空間。
● 高剛性與響應性
KBM電機的高剛性和高響應性確保了設備在多軸聯(lián)動加工中的平穩(wěn)運行和快速定位，適應了復雜多變的加工需求。
● 低維護成本
KBM電機的高可靠性和長壽命降低了維護成本，減少了停機時間，提高了設備的運行效率和生產連續(xù)性。
采用科爾摩根KBM電機的晶圓磨床，讓客戶體驗到了全方位的提升。不僅晶圓加工的精度和一致性達到了新的水平，控制精度提升至3rad s，重復定位精度達到1.5rad s，極大的提高了生產質量，并減少了后續(xù)調整的需要，有效節(jié)約了成本。生產效率的顯著提升更是縮短了產品從研發(fā)到市場的周期，增強了企業(yè)的市場響應速度和競爭力。最重要的是，KBM電機的低維護需求和長期穩(wěn)定性，確保了生產流程的連續(xù)性，減少了因設備維護導致的生產中斷，為企業(yè)創(chuàng)造了持續(xù)穩(wěn)定的生產環(huán)境，帶來了顯著的經濟效益和長期的競爭優(yōu)勢。